ITO靶材

表1:

 

项目

规格

主要成分

In2O3:SnO2=90:10(wt%),其它比例以客户要求为准

纯度

4N(杂质含量见附表)

相对密度

≥99.5%(理论密度7.15g/cm3

电阻率

≤1.8Ω·mm2/m

失氧率

≤0.5%

物理规格

呈片状或其他形状,其尺寸及偏差由供需双方商定

外观质量

外观颜色均匀;表面平整,无裂纹,无崩边崩角,且无任何外来夹杂物和污染物

内部缺陷

内部无裂纹,无异物

 

附表:

 

杂质含量(×10-6)不大于         单位:wt%

Fe

Pb

Zn

Ni

Cu

Cd

Al

Si

Ca

Mg

15

10

10

5

5

5

15

15

15

5

 

 
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