ITO靶材(使用后)

表1:

 

使用该ITO靶材镀膜后,ITO导电膜的性能参数

项目

规格

导电性能

约180μΩ·cm(满足产品生产要求)

透光率

>87%(满足产品生产要求)

耐热实验

合格

泡碱实验

合格

耐碱实验

合格

蚀刻性能

合格

 
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